1. Chemical mechanical polishing in silicon processing
پدیدآورنده: / Volume editors Shin Hwa Li, Robert O. Mille
کتابخانه: كتابخانه مركزی و مركز اسناد دانشگاه شهيد چمران (خوزستان)
موضوع: Grinding and polishing.,Silicon.
رده :
QC
,
612
,.
S4
,
W5
,
v
.
63
,
2000